Горизонтальна вакуумна камера для напилення (УВМ, ВУ)
Під замовлення

Вакуумна камера для напилення та металізації

Ціна за домовленістю

Основні переваги:

  • Офіційна гарантія та обслуговування
  • Власне виробництво та контроль якості
  • Підбір обладнання під ваші задачі
  • Оперативна доставка по Україні

Опис товару

Вакуумна камера для напилення промислового типу (базові серії УВМ, ВУ-1, ВУ-2) — це комплексний технологічний апарат високовакуумної металізації, призначений для термічного резистивного, магнетронного або іонно-плазмового нанесення тонких функціональних плівок на поверхні виробів із пластмас, скла, кераміки та металів. Обладнання функціонує в робочому діапазоні тисків від 10-3 до 10-5 Па, забезпечуючи формування дзеркальних, просвітлювальних, захисних, струмопровідних або декоративних шарів (алюміній, хром, титан, нітрид титану) без контакту розплаву з атмосферним киснем.

Технологічна роль установки та окупність інвестицій (CAPEX)

Промислова вакуумна металізація дозволяє замінити екологічно небезпечну та енерговитратну гальваніку на сухий замкнутий вакуумний цикл:

  • Сфери застосування: Автомобільна світлотехніка (нанесення відбиваючих шарів на рефлектори фар), виробництво побутової та пакувальної фурнітури, оптичне приладобудування (просвітлення лінз, дзеркала), мікроелектроніка (напилення контактних площадок) та зміцнення різального інструменту.
  • Контроль товщини покриття: Завдяки глибині вакууму 10-3–10-5 Па довжина вільного пробігу молекул випареного металу перевищує лінійні розміри камери. Це забезпечує прямолінійний перенос речовини без зіткнень із залишковими газами і рівномірну кристалізацію плівки товщиною від десятих часток нанометра до одиниць мікрометрів.
  • Економічна ефективність: Використання містких горизонтальних камер із багатопозиційними каруселями обертання підкладок дозволяє обробляти тисячі дрібних або десятки великогабаритних деталей за один робочий цикл (20–40 хвилин), що гарантує високу продуктивність цеху та швидку окупність капітальних витрат.

Інженерне компонування та вузли системи

Конструкція установки УВМ є модульним технологічним комплексом важкого типу, до складу якого входять ключові підсистеми:

  • Робоча вакуумна камера: Горизонтальний циліндричний резервуар із корозійностійкої або низьковуглецевої сталі, розрахований на циклічні навантаження повного вакууму. Фронтальна масивна кришка оснащена герметичним пазом із вакуумною термостійкою гумою та оглядовим вікном із броньованого скла із захисною поворотною шторкою для візуального контролю випаровування металу.
  • Система високовакуумної відкачки: Комбінований каскадний пост, змонтований безпосередньо на бічних або задніх патрубках камери. Попереднє розрідження створюється форвакуумним золотниковим або пластинчасто-роторним агрегатом, після чого через високовакуумні затвори з пневмоприводом підключаються дифузійні паромасляні насоси (НВДМ-400 / НВДМ-630), що забезпечують робочий тиск процесу.
  • Внутрішнє технологічне оснащення: Центральна планетарна або барабанна карусель із регульованим електроприводом обертання деталей для рівномірного напилення з усіх боків; резистивні випарники (вольфрамові спіралі чи човники) або магнетронні розпилювачі; система заслінок і затінювачів.
  • Контур охолодження та герметичність: Розгалужена водяна сорочка охолодження стінок камери, дифузійних насосів і струмовводів випарників, розрахована на безперервний протік води для компенсації теплового випромінювання нагрівачів.
  • Стандарти виробництва: Обладнання відповідає нормам ГОСТ 12.2.003-91, стандартам проектування посудин під тиском, вимогам ДСТУ EN 1012-2:2008 та правилам безпечної експлуатації електроустановок промислових споживачів (ПУЕ).

Технологічний регламент циклу напилення

Процес нанесення тонкоплівкового покриття на установці типу УВМ виконується за автоматизованим або напівавтоматичним алгоритмом:

  1. Завантаження та запечатування: Очищені та знежирені підкладки встановлюються на оснастку каруселі. У випарники закладається навішування металу (наприклад, алюмінієва нарізка). Фронтальні двері зачиняються і підтискаються замками.
  2. Форвакуумна евакуація: Вмикається лінія попереднього розрідження, яка відкачує атмосферне повітря з робочого об’єму до тиску 10–20 Па через форвакуумну магістраль в обхід закритих високовакуумних затворів.
  3. Високовакуумний вихід: Перемикаються вакуумні клапани, відкриваються затвори дифузійних насосів. Камера виводиться на технологічне розрідження 10-3–10-5 Па з паралельною роботою водяного охолодження.
  4. Іонне очищення (тліючий розряд): Перед нанесенням шару на високовольтний електрод подається напруга для бомбардування поверхонь деталей іонами газу, що забезпечує ідеальну адгезію покриття.
  5. Активація випарників та металізація: Вмикається обертання каруселі деталей. Через струмовводи на випарники подається технологічний струм, метал миттєво закипає, сублімується і конденсується на поверхні підкладок.
  6. Охолодження та напуск атмосфери: Після вимкнення нагріву деталі охолоджуються під вакуумом, високовакуумні затвори перекриваються, і через вентиль напуску сухого повітря тиск у камері вирівнюється до атмосферного для вивантаження.

Проектування, модернізація та поставка від «Вакуумні Технології»

Компанія «Вакуумні Технології» здійснює проектування нових вакуумних камер напилення, поставку комплектних установок УВМ/ВУ та глибоку модернізацію діючих камерних систем замовника під ключ.

  • Індивідуальне проектування оснастки: Розрахунок геометрії камери, планетарних механізмів обертання під геометрію виробів, підбір високовакуумних насосних постів із високою провідністю.
  • Модернізація автоматики та КВПіА: Заміна застарілих релейних схем на сучасні шафи керування на базі ПЛК (промислових контролерів) з сенсорними панелями оператора та цифровими вакуумметрами.
  • Повний пакет супроводу: Паспорт установки з відміткою ВТК, схеми розводки охолодження й пневматики, протокол вакуумних випробувань гелієвим течошукачем, пусконалагоджувальні роботи, гарантія 12 місяців і доставка по Україні.

Характеристики

Тип установки Горизонтальна вакуумна камера для напилення (УВМ, ВУ)
Робочий діапазон тисків у камері від 10⁻³ до 10⁻⁵ Па
Граничний залишковий вакуум до 6,6×10⁻⁵ Па (5×10⁻⁷ мм рт. ст.)
Тип системи високовакуумного відкачування Паромасляні дифузійні насоси з водяними ловушками
Форвакуумна ступінь Золотниковий (АВЗ) або пластинчасто-роторний (НВР) агрегат
Методи випаровування металу Термічний резистивний, магнетронний, іонно-плазмовий
Тип внутрішнього оснащення Багатопозиційна планетарна карусель із приводом обертання
Охолодження установки Водяне примусове (сорочка камери, струмовводи, насоси)
Контроль робочого середовища Оглядовий люк із захисним склом, цифрові датчики вакууму
Напруга живлення комплексу Трифазна мережа 380 В (50 Гц)

Часті запитання (FAQ)

Чому для процесу вакуумного напилення необхідний саме високий вакуум порядку 10⁻³–10⁻⁵ Па?
За атмосферного або низького вакууму молекули випареного металу постійно зіштовхуються з молекулами кисню та азоту, миттєво окислюючись і втрачаючи кінетичну енергію, що призводить до осипання шару у вигляді темного порошку. У високому вакуумі довжина вільного пробігу атомів перевищує відстань від випарника до деталі, завдяки чому метал долітає до поверхні без перешкод і конденсується в однорідну, чисту, міцно зчеплену дзеркальну плівку.
Навіщо корпус вакуумної камери напилення оснащується водяною сорочкою охолодження?
Під час термічного випаровування резистивні нагрівачі виділяють велику кількість теплової енергії через випромінювання. Водяна сорочка запобігає нагріванню металевих стінок камери вище допустимих меж (+50...+60 °C), захищає вакуумне гумове ущільнення кришки від пересихання й розгерметизації, а також запобігає вторинному газовиділенню (десорбції газів) зі стінок, яке могло б зірвати технологічний вакуум.
Які метали та матеріали можна наносити за допомогою камери типу УВМ?
Базова резистивна конфігурація розрахована на випаровування легкоплавких і середньоплавких металів, найчастіше технічного алюмінію високої чистоти (для дзеркальних і відбиваючих шарів). При встановленні додаткових магнетронів, дугових випарників або вольфрамових човників на установці успішно наносяться хром, мідь, титан, золото, срібло, а при напуску реакційних газів (азоту або ацетилену) — надтверді зносостійкі нітриди й карбіди металів.