Під замовлення
Пост вакуумний лабораторний (ВУП-4, ВУП-5)
Ціна за домовленістю
Основні переваги:
- Офіційна гарантія та обслуговування
- Власне виробництво та контроль якості
- Підбір обладнання під ваші задачі
- Оперативна доставка по Україні
Опис товару
Пост вакуумний дослідницького та виробничого класу (серії ВУП-4, ВУП-5) — це універсальний автономний лабораторно-промисловий комплекс відкачування та термічного напилення тонких плівок. Установка змонтована у форматі моноблочного апаратного столу і спроєктована для прецизійної термовакуумної металізації, вуглецевого напилення, іонно-променевого очищення підкладок, а також підготовки мікроструктурних зразків для просвічувальної (ТЕМ) та скануючої (СЕМ) електронної мікроскопії. Система забезпечує стабільне робоче розрідження в діапазоні 1,3×10-3…1,3×10-4 Па без проникнення вуглеводневого аерозолю в технологічну зону під ковпаком.
Технологічні завдання комплексу та економічна віддача
Універсальні вакуумні пости закривають базові потреби лабораторій матеріалознавства, заводських випробувальних центрів та мелкосерійних виробництв мікроелектроніки:
- Прецизійне нанесення тонких плівок: Термічне випаровування благородних і тугоплавких металів (золото, платина, паладій, хром, титан), а також сублімація вуглецю для формування надтонких струмопровідних, оптичних та контактних шарів на діелектриках.
- Пробопідготовка для СЕМ і ТЕМ: Нанесення антистатичних провідних плівок (Au, Pt, C) на біологічні, полімерні та мінералогічні зразки для усунення ефекту накопичення поверхневого заряду під електронним зондом мікроскопа, а також отримання тонкоплівкових вуглецевих реплік.
- Іонне очищення та травлення: Бомбардування робочих поверхонь пучком іонів інертного газу для десорбції мономолекулярних плівок вологи, жирів та оксидів безпосередньо перед нанесенням функціонального шару.
- Оптимізація витрат: Компактна модульна конструкція типу «стіл-стійка» об’єднує форвакуумний, високовакуумний, випаровувальний та вимірювальний модулі в єдиному корпусі. Це усуває потребу в проектуванні складних стаціонарних трубопроводів та знижує собівартість дослідницьких операцій.
Інженерна вакуумна схема та склад вузлів
Пост вакуумний побудований за класичною двоступеневою схемою послідовного каскадування насосних агрегатів, змонтованих на спільній віброізольованій несучій рамі:
- Форвакуумна ступінь (первинне розрідження): Нижній пластинчасто-роторний насос у кожусі під стільницею, що забезпечує швидкісну евакуацію атмосферного повітря з об’єму робочої камери та кип’ятильника до тиску порядку 10-1 Па.
- Високовакуумна паромасляна ступінь: Вертикальний дифузійний насос із зовнішньою сорочкою водяного охолодження. Кипляче вакуумне масло формує надзвукові парові струмені, які підхоплюють молекули газу з камери та переносять їх на випуск до форвакуумної лінії, забезпечуючи перехід у глибину 10-3–10-4 Па.
- Кріогенна азотна ловушка: Бар’єрний теплообмінний вузол, розміщений на фланці входу дифузійного насоса. Заправка рідким азотом (LN2, температура -196 °C) забезпечує повне конденсаційне виморожування зворотної міграції парів масла, гарантуючи отримання чистого безмасляного вакууму на підкладках.
- Електропневматична розподільна арматура: Блок автоматичних пневмо- та електроклапанів (байпасний тракт, форвакуумна магістраль, клапан напуску сухого повітря та високовакуумний затвор), що здійснюють безпечну перекомутацію ліній без ризику прориву атмосфери на гарячий кип’ятильник.
- Контрольно-вимірювальний комплекс (КВПіА): Прецизійний комбінований вакуумметр (типу ВІТ-2 або ВІТ-3) із винесеними датчиками: термопарні (ПМТ-2) контролюють стан форвакуумної лінії, а магнітні електророзрядні або іонізаційні (ПМІ-2) — глибину розрідження під робочим ковпаком.
- Стандарти виробництва: Комплекс розроблений і протестований відповідно до вимог безпеки ГОСТ 12.2.003-91, нормативів до лабораторних вакуумних систем ДСТУ EN 1012-2:2008 та правил улаштування електроустановок (ПУЕ).
Регламент пуску та порядок експлуатації
Для виключення окислення (смерті) дорогої вакуумної оливи та виходу з ладу нагрівальних елементів робота вакуумного поста суворо підпорядкована технологічній послідовності:
- Подача теплоносія охолодження: Відкривається магістраль водяного охолодження сорочки дифузійного насоса. Спрацьовує реле протоку, що дозволяє подачу живлення на плату керування.
- Форвакуумна підготовка дифузійного агрегату: Запускається механічний насос першої ступені, відкривається байпасний клапан і здійснюється попередня відкачка корпусу дифузійного насоса до тиску нижче 10-1 Па.
- Вихід на температурний режим: Вмикається нагрівальний блок (ТЕНи) кип’ятильника. Протягом 20–30 хвилин робоча рідина прогрівається до точки кипіння з формуванням стабільних надзвукових струменів пари.
- Кріогенне захолодження: У виливну горловину азотної пастки заливається рідкий азот. На захолодженій поверхні утворюється конденсаційний бар’єр для масляних парів.
- Високовакуумний цикл: Підготовлені зразки завантажуються під скляний або сталевий ковпак. Камера попередньо відкачується форвакуумною лінією, після чого автоматика перемикає клапани й відкриває високовакуумний затвор. Система досягає граничного тиску 1,3×10-4 Па.
- Напилення та завершення: Здійснюється іонне очищення і подається струм на вольфрамові спіралі чи вуглецеві електроди для нанесення шару. Після експозиції затвор перекривається, ковпак розгерметизується сухим повітрям, а дифузійний насос залишається розігрітим під форвакуумом для наступного циклу.
Поставка, модернізація та сервіс від «Вакуумні Технології»
Компанія «Вакуумні Технології» виконує поставку комплектних лабораторних постів типу ВУП-4 / ВУП-5, здійснює проектування спеціалізованих відкачувальних систем за ТЗ замовника та проводить капітальну модернізацію діючих лабораторних постів.
- Глибока модернізація ВУП-4/5 під ключ: Заміна застарілих аналогових вакуумметрів ВІТ на цифрові мікропроцесорні блоки, установка сучасних електропневматичних затворів з керуванням через сенсорний екран, ревізія паропроводів та електротоковводів.
- Постачання матеріалів та розхідників: Оригінальні вольфрамові випарні кошики, заготовки для вуглецевого розпилення, вакуумні оливи ВМ-1С / ВМ-5, азотні ловушки та комплекти ущільнень FKM.
- Офіційні гарантії та юридична чистота: Повний комплект технічної документації (паспорт, формуляр, метрологічні свідоцтва на вакуумметри), прямий договір із платниками ПДВ, гарантія 12 місяців і доставка спецтранспортом або кур’єрськими службами по Україні.
Характеристики
| Тип установки | Універсальний лабораторний вакуумний пост (ВУП-4, ВУП-5) |
| Граничний залишковий тиск (з азотною пасткою) | 1,3×10⁻⁴ Па (1×10⁻⁶ мм рт. ст.) |
| Робочий тиск процесу напилення | 1,3×10⁻³ – 1,3×10⁻⁴ Па |
| Форвакуумна ступінь | Пластинчасто-роторний вакуумний насос (до 10⁻¹ Па) |
| Високовакуумна ступінь | Паромасляний дифузійний насос із водяним охолодженням |
| Захист від масляного зворотного потоку | Заливна азотна кріогенна ловушка (рідкий азот LN2, -196 °C) |
| Технологічні функції | Термічне випаровування (Au, Pt, Cr), вуглецеве напилення, іонне травлення |
| Тип вакуумної камери | Вертикальний знімний скляний або сталевий ковпак |
| Тип вакуумметра в базовій схемі | Аналоговий або цифровий (аналог ВІТ-2, ВІТ-3) із датчиками ПМТ/ПМІ |
| Живлення системи | Однофазна / трифазна мережа 220 / 380 В (50 Гц) |