Лабораторный вакуумный пост (ВУП-4, ВУП-5)
Основные преимущества:
- Официальная гарантия и обслуживание
- Собственное производство и контроль качества
- Подбор оборудования под ваши задачи
- Оперативная доставка по Украине
Описание товара
Вакуумная установка исследовательского и производственного класса (серии ВУП-4, ВУП-5) — это универсальный автономный лабораторно-промышленный комплекс для откачки и термического напыления тонких пленок. Установка смонтирована в формате моноблочного аппаратного стола и спроектирована для прецизионной термовакуумной металлизации, углеродного напыления, ионно-лучевой очистки подложек, а также подготовки микроструктурных образцов для просвечивающей (ТЭМ) и сканирующей (СЭМ) электронной микроскопии. Система обеспечивает стабильное рабочее разрежение в диапазоне 1,3×10⁻³…1,3×10⁻⁴ Па без проникновения углеводородного аэрозоля в технологическую зону под колпаком.
Технологические задачи комплекса и экономическая отдача
Универсальные вакуумные посты удовлетворяют основные потребности лабораторий материаловедения, заводских испытательных центров и мелкосерийных производств микроэлектроники:
- Прецизионное нанесение тонких пленок: Термическое испарение благородных и тугоплавких металлов (золото, платина, палладий, хром, титан), а также сублимация углерода для формирования сверхтонких токопроводящих, оптических и контактных слоев на диэлектриках.
- Подготовка проб для СЭМ и ТЭМ: Нанесение антистатических проводящих пленок (Au, Pt, C) на биологические, полимерные и минералогические образцы для устранения эффекта накопления поверхностного заряда под электронным зондом микроскопа, а также получения тонкопленочных углеродных реплик.
- Ионная очистка и травление: бомбардировка рабочих поверхностей пучком ионов инертного газа для десорбции мономолекулярных пленок влаги, жиров и оксидов непосредственно перед нанесением функционального слоя.
- Оптимизация затрат: компактная модульная конструкция типа «стол-стойка» объединяет форвакуумный, высоковакуумный, испарительный и измерительный модули в едином корпусе. Это устраняет необходимость в проектировании сложных стационарных трубопроводов и снижает себестоимость исследовательских операций.
Инженерная вакуумная схема и состав узлов
Вакуумная установка построена по классической двухступенчатой схеме последовательного каскадирования насосных агрегатов, смонтированных на общей виброизолированной несущей раме:
- Предвакуумная ступень (первичное разрежение): Нижний пластинчато-роторный насос в кожухе под столешницей, обеспечивающий быструю эвакуацию атмосферного воздуха из объема рабочей камеры и кипятильника до давления порядка 10-1 Па.
- Высоковакуумная паромасляная ступень: вертикальный диффузионный насос с наружной рубашкой водяного охлаждения. Кипящее вакуумное масло образует сверхзвуковые паровые струи, которые захватывают молекулы газа из камеры и переносят их на выпуск в форвакуумную линию, обеспечивая переход в глубину 10⁻³–10⁻⁴ Па.
- Криогенная азотная ловушка: барьерный теплообменный узел, расположенный на входном фланце диффузионного насоса. Заправка жидким азотом (LN2, температура -196 °C) обеспечивает полное конденсационное вымораживание обратной миграции паров масла, гарантируя получение чистого безмасляного вакуума на подложках.
- Электропневматическая распределительная арматура: блок автоматических пневмо- и электроклапанов (байпасный тракт, форвакуумная магистраль, клапан напуска сухого воздуха и высоковакуумный затвор), обеспечивающие безопасную перекоммутацию линий без риска прорыва атмосферы на горячий кипятильник.
- Контрольно-измерительный комплекс (КИК): Прецизионный комбинированный вакуумметр (типа ВИТ-2 или ВИТ-3) с вынесенными датчиками: термопарные (ПМТ-2) контролируют состояние форвакуумной линии, а магнитные электроразрядные или ионизационные (ПМИ-2) — глубину разрежения под рабочим колпаком.
- Стандарты производства: Комплекс разработан и протестирован в соответствии с требованиями безопасности ГОСТ 12.2.003-91, нормативов к лабораторным вакуумным системам ДСТУ EN 1012-2:2008 и правил устройства электроустановок (ПУЭ).
Регламент ввода в эксплуатацию и порядок эксплуатации
Для предотвращения окисления (разрушения) дорогостоящего вакуумного масла и выхода из строя нагревательных элементов работа вакуумного поста строго подчиняется технологической последовательности:
- Подача теплоносителя охлаждения: открывается магистраль водяного охлаждения рубашки диффузионного насоса. Срабатывает реле протока, что обеспечивает подачу питания на плату управления.
- Форвакуумная подготовка диффузионного агрегата: запускается механический насос первой ступени, открывается байпасный клапан и осуществляется предварительная откачка корпуса диффузионного насоса до давления ниже 10-1 Па.
- Выход на температурный режим: Включается нагревательный блок (ТЭНы) кипятильника. В течение 20–30 минут рабочая жидкость прогревается до точки кипения с образованием стабильных сверхзвуковых струй пара.
- Криогенное охлаждение: В заливную горловину азотной ловушки заливается жидкий азот. На охлажденной поверхности образуется конденсационный барьер для масляных паров.
- Высоковакуумный цикл: Подготовленные образцы загружаются под стеклянный или стальной колпак. Камера предварительно откачивается форвакуумной линией, после чего автоматика переключает клапаны и открывает высоковакуумный затвор. Система достигает предельного давления 1,3×10⁻⁴ Па.
- Напыление и завершение: Проводится ионная очистка и подается ток на вольфрамовые спирали или углеродные электроды для нанесения слоя. После экспозиции затвор перекрывается, колпак разгерметизируется сухим воздухом, а диффузионный насос остается разогретым под форвакуумом для следующего цикла.
Поставка, модернизация и сервис от «Вакуумные Технологии»
Компания «Вакуумные Технологии» осуществляет поставку комплектных лабораторных постов типа ВУП-4 / ВУП-5, проектирует специализированные откачивающие системы в соответствии с техническим заданием заказчика и проводит капитальную модернизацию действующих лабораторных постов.
- Глубокая модернизация ВУП-4/5 «под ключ»: Замена устаревших аналоговых вакуумметров ВИТ на цифровые микропроцессорные блоки, установка современных электропневматических затворов с управлением через сенсорный экран, ревизия паропроводов и электротокопроводов.
- Поставка материалов и расходных материалов: оригинальные вольфрамовые испарительные корзины, заготовки для углеродного распыления, вакуумные масла ВМ-1С / ВМ-5, азотные ловушки и комплекты уплотнений FKM.
- Официальные гарантии и юридическая чистота: Полный комплект технической документации (паспорт, формуляр, метрологические свидетельства на вакуумметры), прямой договор с плательщиками НДС, гарантия 12 месяцев и доставка спецтранспортом или курьерскими службами по Украине.
Характеристики
| Тип установки | Универсальный лабораторный вакуумный пост (ВУП-4, ВУП-5) |
| Предельное остаточное давление (с азотной ловушкой) | 1,3×10⁻⁴ Па (1×10⁻⁶ мм рт. ст.) |
| Рабочее давление процесса напыления | 1,3×10⁻³ – 1,3×10⁻⁴ Па |
| Предварительная вакуумная ступень | Пластинчато-роторный вакуумный насос (до 10⁻¹ Па) |
| Высоковакуумная ступень | Паромасляный диффузионный насос с водяным охлаждением |
| Защита от обратного потока масла | Заливная криогенная ловушка для азота (жидкий азот LN2, −196 °C) |
| Технологические функции | Термическое испарение (Au, Pt, Cr), углеродное напыление, ионный травление |
| Тип вакуумной камеры | Вертикальный съемный стеклянный или стальной колпак |
| Тип вакуумметра в базовой схеме | Аналоговый или цифровой (аналог ВИТ-2, ВИТ-3) с датчиками ПМТ/ПМИ |
| Питание системы | Однофазная / трехфазная сеть 220 / 380 В (50 Гц) |