Высоковакуумная паромасляная агрегатная установка АВПС-400
Основные преимущества:
- Официальная гарантия и обслуживание
- Собственное производство и контроль качества
- Подбор оборудования под ваши задачи
- Оперативная доставка по Украине
Описание товара
Установка АВПС-400 (стационарный вакуумный агрегат с паром-масляным уплотнением и условным проходом входного фланца 400 мм) — это полностью агрегатированный высоковакуумный откачивающий комплекс рамной конструкции. Система спроектирована для создания и длительного поддержания глубокого разрежения в диапазоне давлений от 1,33 до 1,33×10⁻⁴ Па (до 1,3×10⁻⁵ Па с азотной ловушкой). Комплекс объединяет на общей виброизолированной раме высоковакуумный паромасляный диффузионный насос Ду 400, промежуточный механический бустер Рутса, форвакуумный пластинчато-роторный насос, высоковакуумный затвор с пневмоприводом, систему байпасных трубопроводов и встроенную защитную автоматику.
Технологическая роль установки и окупаемость капитальных инвестиций
Агрегат АВПС-400 представляет собой завершенный инженерный узел высоковакуумной откачки, который интегрируется в вакуумные магистрали производственных и научно-исследовательских линий:
- Сферы применения: металлургические комплексы вакуумно-индукционной плавки и спецсплавов, установки магнетронного и электронно-лучевого нанесения функциональных покрытий на оптику и кремниевые подложки, имитаторы космического пространства, испытательные термобарокамеры и высоковакуумные системы для физических экспериментов.
- Высокая скорость технологического цикла: Пропускная способность до 5000 л/с (18 000 м³/ч) по воздуху обеспечивает ускоренную эвакуацию технологических объемов, сокращая общее время подготовки установки к термообработке или напылению.
- Экономический эффект: Поставка системы на единой модульной раме заводской готовности снижает капитальные затраты на монтаж на 30–40 %. Исключаются ошибки полевой сборки трубопроводов, паразитная вибрация и разгерметизация трактов, а установленная мощность (8–11 кВт) оптимизирует потребление электроэнергии по сравнению с несбалансированными схемами.
Инженерная архитектура, каскадирование и безопасность
Конструкция АВПС-400 реализует сбалансированную трехступенчатую схему откачки, смонтированную на жестком металлическом каркасе:
- Высоковакуумная диффузионная ступень: вертикальный паром-масляный насос (на базе серии НД-400 / НВЭД-400) с рубашкой водяного охлаждения и нагревателем мощностью 4,5–5,0 кВт. Обеспечивает предельный вакуум 6,7×10⁻⁴ Па без ловушки и до 1,3×10⁻⁵ Па при использовании криогенной азотной ловушки. Объем заправки масла (ВМ-1 или ВМ-5) составляет 1,5–2,0 л.
- Форвакуумная каскадная группа: последовательно соединенные механический двухроторный насос Рутса и форвакуумный пластинчато-роторный агрегат. Насос Рутса обеспечивает откачку парогазовых смесей в переходной зоне и создает глубокий выпускной подпор (до 25–30 Па), предотвращая срыв паровых струй диффузионного насоса.
- Коммутационная вакуумная арматура: Высоковакуумный затвор Ду 400 с пневматическим приводом и смотровыми индикаторами положения заслонки, байпасная магистраль предварительной откачки в обход высоковакуумного тракта, а также электромагнитные отсечные клапаны.
- Защитная автоматика и КВПиА: Система оснащена блокировками питания ТЭНов по сигналу реле потока охлаждающей воды (расход не менее 250–300 л/ч при температуре не выше +25 °C) и термодатчиками контроля кипятильника.
- Стандарты производства: Оборудование соответствует требованиям безопасности машин ДСТУ EN 1012-2:2008, ГОСТ 12.2.003-91, стандартам фланцевых соединений ГОСТ 12815-80 / ISO-F400 и нормам ПУЭ.
Регламент выхода на режим и остановки агрегата
Для сохранения ресурса вакуумного масла и исключения его термической деструкции пуск и отключение АВПС-400 выполняются строго в соответствии с технологическим протоколом:
- Подача охлаждающей воды: открытие магистрали технического водоснабжения с контролем давления и расхода (не менее 250–300 л/ч). Срабатывает реле расхода, разблокируя цепь управления нагревателем.
- Форвакуумная подготовка диффузионной ступени: Запуск форвакуумной группы (пластинчато-роторного насоса и насоса Рутса), открытие байпасного клапана и откачка корпуса диффузионного насоса до давления ниже 25 Па.
- Разогрев кипятильника: подача напряжения на нагревательный блок 4,5–5,0 кВт. Время выхода масляной ванны на стационарный рабочий режим парообразования составляет 40–60 минут.
- Предварительная эвакуация камеры (байпас): Технологический объём заказчика откачивается форвакуумной группой через байпасную линию до давления 20–30 Па при закрытом затворе Ду 400.
- Высоковакуумный цикл: Байпасный клапан перекрывается, открывается затвор Ду 400, и установка выводит технологическую камеру на глубокий рабочий вакуум до 1,3×10⁻⁵ Па.
- Регламент отключения: Затвор Ду 400 закрывается, ТЭНы отключаются. Контур водяного охлаждения и форвакуумная поддержка остаются включенными в течение не менее 60–80 минут для полного охлаждения масла ниже +50 °C перед остановкой насосов и возможным напуском атмосферы.
Инжиниринг, поставка и интеграция от «Вакуумные Технологии»
Инженерный отдел компании «Вакуумные Технологии» осуществляет поставку базовых агрегатов АВПС-400, а также проектирует индивидуальные компоновки с учетом пространственных ограничений и технологического регламента заказчика.
- Индивидуальная адаптация и КВПиА: комплектация шкафами управления на базе ПЛК с сенсорными HMI-панелями, интеграция цифровых вакуумметров (широкодиапазонные датчики Пирани/Байярда-Альперта), выбор типа затвора (пневмопривод или электропривод).
- Комплектация опциями: Поставка заливных криогенных ловушек LN2, шевронных водяных отражателей, комплекта уплотнений Viton / 7-ИРП-1345 и паспортного вакуумного масла ВМ-1С / ВМ-5.
- Юридическая и техническая чистота: полный пакет эксплуатационной документации (паспорт установки, акт гелиевых испытаний на герметичность, сертификаты соответствия). Работа с плательщиками НДС, фиксация стоимости в национальной валюте, гарантия 12 месяцев и логистика тяжеловесного оборудования по всей Украине.
Характеристики
| Скорость работы в воздухе (производительность) | 4500–5000 л/с (16 200–18 000 м³/ч) |
| Предельное остаточное давление (без уловителя) | 6,7×10⁻⁴ Па (5×10⁻⁶ мм рт. ст.) |
| Предельное остаточное давление (с азотной ловушкой LN2) | до 1,3×10⁻⁵ Па (1×10⁻⁷ мм рт. ст.) |
| Рабочий диапазон давлений | от 1,33 до 1,33×10⁻⁴ Па |
| Максимальное выпускное давление (форвакуумный напор) | 25–30 Па (0,2–0,25 мм рт. ст.) |
| Условный проход входного затвора (Dу) | Диаметр 400 мм (ГОСТ 12815-80 / ISO-F400) |
| Мощность нагревателя диффузионного насоса (ТЭНов) | 4,5–5,0 кВт |
| Общая установленная мощность установки | 8,0 – 11,0 кВт (380 В, 50 Гц) |
| Рабочая жидкость диффузионной ступени | Вакуумное масло ВМ-1, ВМ-5 (1,5–2,0 л) |
| Расход охлаждающей воды (при t ≤ +20...+25 °C) | не менее 250–300 л/ч |
| Время разогрева / выхода на рабочий режим | 40–60 минут |
| Время охлаждения перед выключением | не менее 60–80 минут |
