Вакуумная камера для напыления и металлизации
Под заказ

Вакуумная камера для напыления и металлизации

Цена договорная

Основные преимущества:

  • Официальная гарантия и обслуживание
  • Собственное производство и контроль качества
  • Подбор оборудования под ваши задачи
  • Оперативная доставка по Украине

Описание товара

Вакуумная камера для напыления промышленного типа (базовые серии УВМ, ВУ-1, ВУ-2) — это комплексный технологический аппарат для высоковакуумной металлизации, предназначенный для термического резистивного, магнетронного или ионно-плазменного нанесения тонких функциональных пленок на поверхности изделий из пластмасс, стекла, керамики и металлов. Оборудование работает в рабочем диапазоне давлений от 10⁻³ до 10⁻⁵ Па, обеспечивая формирование зеркальных, просвечивающих, защитных, токопроводящих или декоративных слоев (алюминий, хром, титан, нитрид титана) без контакта расплава с атмосферным кислородом.

Технологическая роль установки и окупаемость инвестиций (CAPEX)

Промышленная вакуумная металлизация позволяет заменить экологически опасную и энергозатратную гальванику на сухой замкнутый вакуумный цикл:

  • Сферы применения: автомобильная светотехника (нанесение отражающих слоев на рефлекторы фар), производство бытовой и упаковочной фурнитуры, оптическое приборостроение (осветление линз, зеркал), микроэлектроника (напыление контактных площадок) и упрочнение режущего инструмента.
  • Контроль толщины покрытия: благодаря глубине вакуума 10⁻³–10⁻⁵ Па длина свободного пробега молекул испаренного металла превышает линейные размеры камеры. Это обеспечивает прямолинейный перенос вещества без столкновений с остаточными газами и равномерную кристаллизацию пленки толщиной от десятых долей нанометра до единиц микрометров.
  • Экономическая эффективность: Использование вместительных горизонтальных камер с многопозиционными каруселями для вращения подложек позволяет обрабатывать тысячи мелких или десятки крупногабаритных деталей за один рабочий цикл (20–40 минут), что гарантирует высокую производительность цеха и быструю окупаемость капитальных затрат.

Инженерная компоновка и узлы системы

Конструкция установки УВМ представляет собой модульный технологический комплекс тяжёлого типа, в состав которого входят ключевые подсистемы:

  • Рабочая вакуумная камера: горизонтальный цилиндрический резервуар из коррозионностойкой или низкоуглеродистой стали, рассчитанный на циклические нагрузки полного вакуума. Фронтальная массивная крышка оснащена герметичным пазом с вакуумной термостойкой резиной и смотровым окном из бронированного стекла с защитной поворотной шторкой для визуального контроля испарения металла.
  • Система высоковакуумной откачки: комбинированный каскадный узел, смонтированный непосредственно на боковых или задних патрубках камеры. Предварительное разрежение создается форвакуумным золотниковым или пластинчато-роторным агрегатом, после чего через высоковакуумные затворы с пневмоприводом подключаются диффузионные паромасляные насосы (НВДМ-400 / НВДМ-630), обеспечивающие рабочее давление процесса.
  • Внутреннее технологическое оборудование: центральная планетарная или барабанная карусель с регулируемым электроприводом вращения деталей для равномерного напыления со всех сторон; резистивные испарители (вольфрамовые спирали или лодочки) или магнетронные распылители; система заслонок и затенителей.
  • Контур охлаждения и герметичность: разветвленная водяная рубашка охлаждения стенок камеры, диффузионных насосов и струмовводов испарителей, рассчитанная на непрерывный проток воды для компенсации теплового излучения нагревателей.
  • Стандарты производства: Оборудование соответствует нормам ГОСТ 12.2.003-91, стандартам проектирования сосудов под давлением, требованиям ДСТУ EN 1012-2:2008 и правилам безопасной эксплуатации электроустановок промышленных потребителей (ПУЭ).

Технологический регламент цикла напыления

Процесс нанесения тонкопленочного покрытия на установке типа УВМ выполняется по автоматизированному или полуавтоматическому алгоритму:

  1. Загрузка и герметизация: Очищенные и обезжиренные подложки устанавливаются на оснастку карусели. В испарители загружается металлическая заготовка (например, алюминиевая нарезка). Фронтальные двери закрываются и фиксируются замками.
  2. Форвакуумная эвакуация: включается линия предварительного разрежения, которая откачивает атмосферный воздух из рабочего объема до давления 10–20 Па через форвакуумную магистраль в обход закрытых высоковакуумных затворов.
  3. Высоковакуумный выход: переключаются вакуумные клапаны, открываются заслонки диффузионных насосов. Камера выводится на технологическое разрежение 10⁻³–10⁻⁵ Па с параллельной работой водяного охлаждения.
  4. Ионная очистка (тлеющий разряд): перед нанесением слоя на высоковольтный электрод подается напряжение для бомбардировки поверхностей деталей ионами газа, что обеспечивает идеальную адгезию покрытия.
  5. Активация испарителей и металлизация: Включается вращение карусели деталей. Через токовые вводы на испарители подается технологический ток, металл мгновенно закипает, сублимируется и конденсируется на поверхности подложек.
  6. Охлаждение и нагнетание атмосферного давления: После отключения нагрева детали охлаждаются под вакуумом, высоковакуумные затворы перекрываются, и через клапан нагнетания сухого воздуха давление в камере выравнивается до атмосферного для выгрузки.

Проектирование, модернизация и поставка от «Вакуумные Технологии»

Компания «Вакуумные Технологии» осуществляет проектирование новых вакуумных камер напыления, поставку комплектных установок УВМ/ВУ и глубокую модернизацию действующих камерных систем заказчика «под ключ».

  • Индивидуальное проектирование оснастки: расчет геометрии камеры, планетарных механизмов вращения с учетом геометрии изделий, подбор высоковакуумных насосных постов с высокой проводимостью.
  • Модернизация автоматики и КВПиА: замена устаревших релейных схем на современные шкафы управления на базе ПЛК (промышленных контроллеров) с сенсорными панелями оператора и цифровыми вакуумметрами.
  • Полный пакет сопровождения: Паспорт установки с отметкой ВТК, схемы разводки охлаждения и пневматики, протокол вакуумных испытаний гелиевым утечкой, пуско-наладочные работы, гарантия 12 месяцев и доставка по Украине.

Характеристики

Тип установки Горизонтальная вакуумная камера для напыления (УВМ, ВУ)
Рабочий диапазон давлений в камере от 10⁻³ до 10⁻⁵ Па
Предельный остаточный вакуум до 6,6×10⁻⁵ Па (5×10⁻⁷ мм рт. ст.)
Тип системы высоковакуумной откачки Паромасляные диффузионные насосы с водяными уловителями
Предварительная вакуумная ступень Золотниковый (АВЗ) или пластинчато-роторный (НВР) агрегат
Методы испарения металла Термический резистивный, магнетронный, ионно-плазменный
Тип внутренней отделки Многопозиционная планетарная карусель с приводом вращения
Охлаждение установки Водяное принудительное охлаждение (рубашка камеры, струмовводы, насосы)
Контроль рабочей среды Обзорный люк с защитным стеклом, цифровые датчики вакуума
Напряжение питания комплекса Трехфазная сеть 380 В (50 Гц)

Частые вопросы (FAQ)

Почему для вакуумной металлизации требуется глубокий вакуум порядка 10⁻³–10⁻⁵ Па?
При атмосферном или среднем давлении испаренные атомы металла сталкиваются с молекулами остаточных газов, вступая в химические реакции и окисляясь. В результате металл оседает в виде рыхлого темного налета. В условиях высокого вакуума средняя длина свободного пробега атомов превышает дистанцию от испарителя до подложки. Атомы беспрепятственно долетают до деталей и формируют плотное, чистое, зеркальное покрытие с высокой степенью адгезии.
Зачем корпус вакуумной камеры напыления оснащается водяной рубашкой охлаждения?
В процессе резистивного испарения нагреватели выделяют мощный поток лучистого тепла. Охлаждающая рубашка предотвращает нагрев стенок корпуса выше безопасных значений (+50...+60 °C), исключает термическую деструкцию резинового уплотнения двери и предотвращает газоотделение (десорбцию) со стенок металла, которое могло бы сорвать технологический вакуум.
Какие материалы можно испарять в камерах типа УВМ?
В базовой комплектации с резистивными нагревателями установка предназначена для напыления алюминия, серебра, меди и других легко- и среднеплавких металлов. При оснащении камеры магнетронными узлами или дуговыми испарителями открывается возможность нанесения тугоплавких металлов (титан, хром, цирконий), а при дозированной подаче реакционных газов (азота, углеводородов) — сверхтвердых износостойких нитридных и карбидных пленок.