Вакуумные насосы — Страница 2

Насосы Рутса серий ДВН/НВД представляют собой механические двухроторные агрегаты с абсолютно сухой рабочей полостью. Их применяют для форсирования откачки на предварительных этапах (от 1300 до 1 Па), где недопустимо попадание углеводородов в объем. Бустерные насосы 2НВБМ — это термические пароструйные машины, где газ захватывается сверхзвуковой струей испаряющегося вакуумного масла. Они обеспечивают многократно большую производительность (до 18600 л/с) в области 100...10⁻² Па и устойчивы к высокому форвакуумному давлению выхлопа (до 133–200 Па), что незаменимо при плавке металлов с интенсивным газовыделением.

Диффузионные агрегаты НВДМ спроектированы для поддержания глубокого высокого вакуума (ниже 10⁻² Па и вплоть до 10⁻⁵...10⁻⁷ Па) и крайне чувствительны к давлению подпора (не выше 25–40 Па). При залповом газовыделении давление повышается выше 1 Па, что срывает паровую струю диффузионного насоса. Бустер 2НВБМ ориентирован именно на непрерывную работу в зоне обильного газовыделения (100...10⁻² Па) с форвакуумным подпором до 200 Па, однако не может создать сверхглубокий вакуум, типичный для диффузионных агрегатов.

Стандартный промышленный трех- или четырехступенчатый каскад включает: Форвакуумная ступень: плунжерный насос АВЗ (например, АВЗ-20Д или АВЗ-90) либо пластинчато-роторный НВР-16ДМ для эвакуации газов от атмосферы до 100 Па и сброса выхлопа. Бустерная промежуточная ступень: двухроторный насос Рутса ДВН или паромасляный бустер 2НВБМ для скоростного прохождения среднего вакуума (100 → 0,1 Па). Высоковакуумная ступень: диффузионный насос НВДМ-250 или НВДМ-400 (отсекаемый вакуумным затвором с водяной/азотной ловушкой) для достижения рабочего давления 10⁻⁴...10⁻⁵ Па.

Оба типа агрегатов используют кипящее вакуумное масло, пары которого должны полностью конденсироваться на стенках корпуса. При перегреве воды выше +20...+25 °C или прекращении циркуляции пары масла не осаждаются, прорываются в рабочий объем камеры в виде обратного потока и вызывают потерю вакуума. Для исключения сгорания ТЭНов и термического окисления масла цепь питания нагревателей блокируется автоматическим реле протока воды.